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探针卡用接触端子和探针卡制造技术
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文档序号:8625101
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本发明提供一种能够防止氧化和熔损的探针卡用接触端子。在检查半导体器件的探针卡(10)的基座(11)中,在与半导体器件相对的面配置有多个伸缩探针(12),各伸缩探针(12)的柱塞(14)具有柱状的接触部(14c),接触部(14c)具有柱状的中...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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