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半导体结构和形成该半导体结构的方法技术
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文档序号:8595016
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本发明公开了一种半导体结构,包括:衬底,位于所述衬底上的导体层和围绕所述导体层的电介质层;覆盖所述导体层和所述电介质层的绝缘层;形成在所述绝缘层上的栅极导体层,以及围绕所述栅极导体层的电介质层;覆盖所述栅极导体层和所述围绕栅极导体层的电介质...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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