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本发明公开了一种OTP存储单元及其制作方法。该OTP存储单元，包括：半导体衬底；栅介质层；存储栅和控制栅；位于所述存储栅周围的将所述存储栅和控制栅隔开的侧墙隔离结构；包裹于所述存储栅和控制栅表面的绝缘保护层；位于所述控制栅一侧与所述半导体衬...
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