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一种晶圆温度的检测方法，包括：提供晶圆，在所述晶圆上形成双极型晶体管，双极型晶体管作为温度检测器件；对所述温度检测器件进行校准；在所述双极型晶体管的基区上依次施加至少三个不同的基区电压，双极型晶体管工作在线性区，并测量获得与三个基区电压值对...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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