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本发明涉及一种已做发射区推进的三极管小信号正向电流增益(hfe)的二次增大方法,包括下列步骤:测试晶圆上三极管的hfe;若hfe低于合格值,则对晶圆进行hfe的二次增大,具体包括:将晶圆置于扩散炉内,炉内环境为600~800摄氏度且通入保护...该专利属于深圳深爱半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳深爱半导体股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种已做发射区推进的三极管小信号正向电流增益(hfe)的二次增大方法,包括下列步骤:测试晶圆上三极管的hfe;若hfe低于合格值,则对晶圆进行hfe的二次增大,具体包括:将晶圆置于扩散炉内,炉内环境为600~800摄氏度且通入保护...