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流量控制装置以及处理装置制造方法及图纸
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下载流量控制装置以及处理装置的技术资料
文档序号:8593512
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本发明提供一种流量控制装置以及处理装置。在控制流向气体通路的气体流量的流量控制装置中,具备:主气体管;检测流向该主气体管的气体的流量,输出流量信号的流量检测单元;控制流量的流量控制阀机构;存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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