流量控制装置以及处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种流量控制装置以及处理装置。在控制流向气体通路的气体流量的流量控制装置中，具备：主气体管；检测流向该主气体管的气体的流量，输出流量信号的流量检测单元；控制流量的流量控制阀机构；存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系的、与多个气体种类对应的多个换算数据的换算数据存储部；基于从外部输入的气体种类选择信号，从多个换算数据中选择对应的换算数据，并且基于流量指示信号求出上述目标流量，并基于目标流量与流量信号控制流量控制阀机构的流量控制主体。

【技术实现步骤摘要】
流量控制装置以及处理装置本申请以2011年10月14日向日本专利厅提交的日本专利申请第2011-227116号为基础并要求其优先权，并在本说明中包含其全部公开内容。
本专利技术涉及在处理半导体晶圆等被处理体时所供给的气体的流量控制装置以及使用了该流量控制装置的处理装置。
技术介绍
一般而言，在制造半导体器件时，通过对硅基板等的半导体晶圆反复实施成膜处理、蚀刻处理、退火处理、氧化扩散处理等各种处理，来制造所希望的器件。为了进行上述那样的各种处理而需要使用处理所需的各种处理气体，该情况下，为了进行稳定的处理，除了高精度地控制工艺温度、工艺压力以外，还正在寻求高精度地控制上述处理气体的流量的技术。作为高精度地控制这样的处理气体的流量的装置，一般而言，大多使用例如质量流程控制器那样的流量控制装置（专利文献1、2等）。该流量控制装置捕捉通过气体在传感器管内流动而产生的热移动量作为电阻值根据温度而变化的电阻丝的电阻变化，从而求得流量（质量流量）。该情况下，在该流量控制装置中预先存储有表示操作人员输入的流量设定值所对应的流量指示信号与目标流量的关系的换算数据，该流量控制装置本身通过反馈控制自动进行流量控制，以实现与上述流量指示信号对应的目标流量。专利文献1：日本特开2005-222173号公报专利文献2：国际公开WO2008-016189
技术实现思路
然而，上述流量控制装置是基于伴随气体的流动而产生的热移动量对流量进行控制的，因此若所使用的气体种类的比热不同，则气体流量也相应地发生变化。因此，在以往的流量控制装置中预先规定了基于成为某基准的气体种类，例如N2气体的其他各种气体种类的修正值，即、换算系数（以下也称为“CF值”）。而且，在流量控制装置的购入时，已购入了存储有基于利用者的下订单时指定的气体种类的CF值来求得的换算数据的流量控制装置。然后，在实际的处理装置中，现状为使用多种多用的气体，在这样的情况下，为了降低设备成本而存在采用如下面那样的方式的情况，即：在一台流量控制装置中，除了购入时预定的气体种类以外，还对该气体种类以外的其他1个或者多个气体种类进行流量控制的使用方式。在这样的情况下，处理装置的操作人员根据新要进行流量控制的气体种类所对应的上述CF值，另外通过人工计算来求出修正流量，输出并存储该修正流量。然而，该CF值根据流量控制装置的厂家、模式的不同而不同，因而，存在不只输入时计算繁琐、还导致计算错误这样的问题。本专利技术是着眼于以上那样的问题点，为了有效解决上述问题而做出。本专利技术提供一种不进行繁琐的操作就能够对多个气体种类进行流量控制的流量控制装置以及使用了该流量控制的处理装置。本专利技术的一实施方式为，在控制流向气体通路的气体流量的流量控制装置中，具备：与上述气体通路连接的主气体管；检测流向上述主气体管的气体的流量，输出流量信号的流量检测单元；设置于上述主气体管，通过改变阀开度来控制流量的流量控制阀机构；存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系的、与多个气体种类对应的多个换算数据的换算数据存储部；根据从外部输入的气体种类选择信号，从上述多个换算数据中选择对应的换算数据，并且根据上述流量指示信号求出上述目标流量，并根据该目标流量与上述流量信号控制上述流量控制阀机构的流量控制主体。专利技术本另一实施方式为：在对被处理体实施处理的处理装置中，具备：具有收容上述被处理体的处理容器，对上述被处理体实施处理的处理装置主体；对上述处理容器内进行排气的排气系统；中途设置有上述流量控制装置，在该流量控制装置的上游侧形成了设置有用于排放不同的气体种类的开闭阀的多个分支气体路，下游侧具有与上述处理容器连接的气体通路的气体供给系统；具有输入输出包含至少与气体种类相关的信息与设定流量的处理信息的输入输出部，并进行装置整体的控制。以下，将对本专利技术的其他目的和优点进行说明，他们或是出现在下述说明中或者是可以通过下述实施方式被容易想到，本专利技术的其他目的和优点可以通过下述说明获得，或者通过组合下述特征而得到。附图说明附图是组成或构成本专利技术的一部分，通过下述结合附图的说明更用助于理解本专利技术。图1是表示使用了本专利技术的流量控制装置的处理装置的概略构成图。图2是表示本专利技术的流量控制装置的构成框图。图3是表示存储在流量控制装置的换算数据存储部中的换算数据的一个例子的图。图4是表示形成SiN膜时的各气体的供给形态的一个例子的时序图。具体实施方式下面，根据附图说明本专利技术的一个实施例。在下面的说明，对于相同的构成要素赋予相同的符号，仅在必要是进行重复说明。以下，基于附图对本专利技术的流量控制装置以及处理装置的一个实施例进行详述。图1是表示使用了本专利技术的流量控制装置的处理装置的概略构成图，图2是表示本专利技术的流量控制装置的构成框图，图3是表示存储在流量控制装置的换算数据存储部中的换算数据的一个例子的图。如图1所示，本专利技术的处理装置2具有对作为被处理体的例如由硅基板构成的半导体晶圆W实施处理的处理装置主体4。该处理装置主体4具有处理容器6，该处理容器6例如由石英等耐热部件成型为有顶棚的圆筒体状。在该处理容器6内设置有例如晶舟（waferboat）8作为保持单元，多枚上述半导体晶圆W被多段地支承于该晶舟8。该处理容器6的下端的开口部被支撑上述晶舟8的盖部10气密性地密封。该盖部10能够通过未图示的舟升降装置（boatelevator）而升降，从而使晶舟8与上述盖部10一起一体升降，能够向处理容器6内装载以及卸载晶舟8。在上述处理容器6的周边部设置有圆筒体状的加热单元12，其将内侧的半导体晶圆W加热至规定的温度并维持。另外，在处理容器6的下部侧壁设置有向处理容器6内导入气体的气体导入口14和气体排气口16。针对上述气体排气口16设置有排出处理容器6内的气体的排气系统18。具体而言，上述排气系统18具有与上述气体排气口16连接的排气通路20，在该排气通路20中依次设置有压力控制阀22以及排气泵24。该情况下，根据处理的方式，使处理容器6内成为大气压前后的压力或者成为真空环境。另外，针对上述气体导入口14设置有将处理所需的气体向上述处理容器6内供给的气体供给系统26。在图示例中，虽然仅记载了一个气体供给系统26，但还可以与实际使用的多个气体种类对应而设置多个气体供给系统26。上述气体供给系统26具有与上述气体导入口14连接的气体通路28，在该气体通路28的中途设置有本专利技术的流量控制装置30，如后述那样控制多个气体种类的流量。关于该流量控制装置30的构成，将在后面说明。在比该流量控制装置30靠下游侧的气体通路28中，设置有开闭该气体通路28的第1开闭阀V1。另外，该气体通路28的上游侧形成有多条、在此为2条分支气体路32、34，在各分支气体路32、34的中途分别设置有用于开闭该分支气体路32、34的第2以及第3开闭阀V2、V3。而且，在上述分支气体路32、34中分别使不同气体种类、例如使A气体和B气体流动。因此，能够通过切换上述开闭阀V2、V3来选择性地使A气体和B气体流动。在图示例中，使A气体在一方分支气体路32中流动，使B气体在另一方的分支气体路34中流动。其中，上述分支气体路并不局限于2条，还可以设置更多的分支气体路，来使更多不同的气体种类流动。另外，将本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流量控制装置，其控制流向气体通路的气体流量，该流量控制装置的特征在于，具备：主气体管，其与所述气体通路连接；流量检测单元，其检测流向所述主气体管的气体的流量并输出流量信号；流量控制阀机构，其设置于所述主气体管，通过改变阀开度来控制流量；换算数据存储部，其存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系的、与多个气体种类对应的多个换算数据；和流量控制主体，其基于从外部输入的气体种类选择信号，从所述多个换算数据中选择对应的换算数据，并且基于所述流量指示信号求出所述目标流量，基于该目标流量和所述流量信号，对所述流量控制阀机构进行控制。

【技术特征摘要】
2011.10.14 JP 2011-2271161.一种处理装置，其是对被处理体实施处理的处理装置，该处理装置的特征在于，具备：处理装置主体，其具有收容所述被处理体的处理容器，并对所述被处理体实施处理；排气系统，其对所述处理容器内进行排气；气体供给系统，其形成了设置有用于排放不同的气体种类的开闭阀的多个分支气体路，下游侧具有与所述处理容器连接的气体通路；流量控制装置，其被设置于所述气体通路的上游侧，该流量控制装置具备：主气体管，其与所述气体通路连接；流量检测单元，其检测流向所述主气体管的气体的流量并输出流量信号；流量控制阀机构，其设置于所述主气体管，通过改变阀开度来控制流量；换算数据存储部，其存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系的、与多个气体种类对应的多个换算数据；和流量控制主体，其基于从外部输入的气体种类选择信号，从所述多个换算数据中选择对应的换算数据，并且基于所述流量指示信号求出所述目标流量，基于该目标流量和所述流量信号，对所述流量控制阀机构进行控制，从而对气体流量进行控制；...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈部庸之，守谷修司，松野一成，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：