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基于高度/水平姿态六维位置检测与控制的隔振平台属于大规模集成电路制造装备，该装置隔振平台台体由四个均匀分布于下方的隔振器支撑，在隔振平台台体与地面之间配置有X向位移传感器、Z向位移传感器和Y向位移传感器以及X向执行器、Z向执行器和Y向执行器...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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