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本发明公开了一种应用步进投影数字光刻机制作方孔型光子筛的方法，所述制作方孔型光子筛步骤的包括：首先根据给定的波长、焦距和口径设计方孔型光子筛，确定方孔型光子筛环带数、方孔数量、中心位置和边长等参数；其次进行版图设计，如果版图大小大于步进投影...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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