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本发明公开一种包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、聚光单元、偏振器、相位补偿元件、第一曲面反射元件、第一平面反射元件和探测单元。本发明还公开一种光学测量系统，包括所述的垂直入射宽带偏振光谱仪。该垂直入射宽带偏振光谱仪利...该专利属于中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所;北京智朗芯光科技有限公司授权不得商用。