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本发明提出了一种基于马赫曾德干涉仪耦合的内嵌高阶微环传感器及其制备方法，本传感器由一个U型波导和三个微环谐振器组成。该传感器结合了高阶微环谐振器的高灵敏度特性和U型波导导致的马赫曾德干涉效应，具有灵敏度高和响应快的优良特性。而且该器件的输入...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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