【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种， 属于光学传感器件领域。
技术介绍
光学传感器是一种具有广阔前景的传感器件，被广泛应用于生物医学、环境监测 和环境检测等领域。随着对传感器低成本、高灵敏度、结构紧凑等需求的增加，人们根据不 同的结构和光学原理提出了各式各样的新型光学传感器，例如长周期光纤光栅传感器，多 包层光纤传感器、微环谐振器、马赫曾德干涉仪等。其中微环谐振器由于具有的体积小、高 灵敏度、高集成，制备简单等优良特性，近年来受到越来越多的关注。随着制作工艺水平的 提高，人们设计和制造出越来越多的基于微环谐振器与其他光学器件集成的传感器。其中 马赫曾德干涉仪和微环耦合成的各类集成器件不仅在光延迟线和非线性光转换器方面具 有巨大的潜力，而且具有很好的传感特性，受到越来越的关注。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对已有技术存在的缺陷结合上述微环谐振器的高灵敏度和 马赫曾德干涉仪的干涉效应，提供一种基于马赫曾德干涉仪耦合的内嵌高阶微环传感器， 它是一种改进的马赫曾德干涉仪，但是其输入端和输出端在同一侧，不同于一般马赫曾德 干涉仪的两侧耦合结构，更便于进行传感检测，如可以直接把本器件放...
【技术保护点】
一种基于马赫曾德干涉仪耦合的内嵌微环传感器，包括一个U型波导（1）和三个微环谐振器?（2），其特征在于所述的三个微环谐振器（2）内嵌于U型波导内，介于输入端波导（3）和输出端波导（9）之间，所述微环谐振器（2）和U型波导（1）两者的折射率相同；信号光通过光纤耦合到输入端波导（3），在U型波导（1）和微环谐振器（2）构成的耦合区分成两个传播路径，一部分信号光由耦合区被耦合到微环1（6）中，在微环阵列中进行传输，另有部分信号光继续在U型波导（1）直接进行传输；在微环中传输的信号光到达输出端波导（9）和微环3（4）构成的耦合区被耦合进传输端波导，与在U型波导传输的信号光发生干涉，...
【技术特征摘要】
1.一种基于马赫曾德干涉仪耦合的内嵌微环传感器，包括ー个U型波导(I)和三个微环谐振器(2)，其特征在于所述的三个微环谐振器(2)内嵌于U型波导内，介于输入端波导(3)和输出端波导(9)之间，所述微环谐振器(2)和U型波导(I)两者的折射率相同；信号光通过光纤耦合到输入端波导(3)，在U型波导(I)和微环谐振器(2)构成的耦合区分成两个传播路径，一部分信号光由稱合区被稱合到微环I (6)中，在微环阵列中进行传输，另有部分信号光继续在U型波导(I)直接进行传输；在微环中传输的信号光到达输出端波导(9)和微环3 (4)构成的稱合区被稱合进传输端波导,与在U型波导传输的信号光发生干涉,产生马赫曾德干涉效应，U型波导(I)和串联微环(2)相当于马赫曾德干涉仪的两个干涉臂，输入端波导(3)和微环I (6)构成的耦合区实现马赫曾德干涉仪中的光分束器的作用，微环3 (4)和输出端波导(9)构成的耦合区起到马赫曾德干涉仪中光合波器的作用，然后利用光学仪器测量...
【专利技术属性】
技术研发人员：张小贝，李迎春，戴骏，陈黄超，申云，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：
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