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一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法属于干涉仪误差的评估领域，该方法包括如下步骤：测试过程中引入一定的倾斜量，多次测量结果的平均值作为参考值，取其中一次测试结果减去参考值，获得其中一次测试结果的随机测试误差，根据不同误差源的特性，对其进行...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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