【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于干涉仪误差的评估领域，具体涉及。
技术介绍
移相干涉仪是一种高精密的光学测量设备，被广泛应用于科研与生产中。作为一种高精密的光学仪器，移相干涉仪利用其自身高精密的光学和机械部件来保证其测试精度。经过长时间的使用，不断增加的随机误差会对干涉仪的测量精度产生影响。通常情况下，需要采用多种昂贵的高精密仪器来分析寻找随机误差源。这大大地增加了干涉仪的维护和使用成本。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的问题，本专利技术提供了，该方法通过对随机误差的模态进行分析，通过比对各种误差源引起的随机误差模态之间的差异来快速获得移相干涉仪中随机误差源的种类，为干涉仪的维护和使用提供简便快捷的指导。本专利技术解决技术问题所采用的技术方案如下，其特征在于，该方法包括如下步骤步骤一使用移相干涉仪对一良好波前进行多次测量，测量过程中引入倾斜，取引入倾斜后多次测量结果的平均值作为参考相位；然后随机取其中一次测试相位，减去参考相位，获得一次随机测量结果的测试误差步骤二 通过对移相干涉仪随机误差源的分析，得到不同种类的误差源与测试误差之间的关系，推导获得移相不准确引起的随机误差、振动...
【技术保护点】
一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：使用移相干涉仪对一良好波前进行多次测量，测量过程中引入倾斜，取引入倾斜后多次测量结果的平均值作为参考相位；然后随机取其中一次测试相位，减去参考相位，获得一次随机测量结果的测试误差：步骤二：通过对移相干涉仪随机误差源的分析，得到不同种类的误差源与测试误差之间的关系，推导获得移相不准确引起的随机误差、振动引起的位置噪声误差、光源功率不稳定引起的随机误差和光源中心频率漂移引起的误差特性；步骤三：根据分析获得的不同误差源引起的随机误差的特性，对比步骤一中获得测试结果中的测试误差，确定干涉仪中的主要误差源。
【技术特征摘要】
1.一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法，其特征在于，该方法包括如下步骤 步骤一使用移相干涉仪对一良好波前进行多次测量，测量过程中引入倾斜，取引入倾斜后多次测量结果的平均值作为参考相位；然后随机取其中一次测试相位，减去参考相位，获得一次随机测量结果的测试误差 步骤二 通过对移相干涉仪随机误差源的分析，得到不同种类的误差源与测试误差之间的关系，推导获得移相不准确引起的随...
【专利技术属性】
技术研发人员：马冬梅，邵晶，金春水，张海涛，于杰，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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