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本发明涉及半导体制造技术领域，尤其是涉及一种基于压力测量模块的原子层沉积设备。所述原子层沉积设备，包括真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件、控制部件和沉积室；沉积室内设有压力测量模块，压力测量模块与控制部件电连接。本发明还提供一种...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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