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一种可变带隙的Fe-B-Si三元半导体非晶薄膜及其制备方法技术
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文档序号:8590504
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一种可变带隙的Fe-B-Si三元半导体非晶薄膜及其制备方法,属半导体材料技术领域。这种薄膜材料具有如下通式:Fe3B1Six,x为4.8~18;随着x从4.8增加到18,带隙宽度从0.66eV减小到0.60eV,薄膜结构均为非晶态。该薄膜有...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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