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一种激光薄膜元件用光学基板的清洗方法技术
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文档序号:8586512
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本发明涉及一种激光薄膜元件用光学基板的清洗方法,具体步骤为:用蘸有丙酮的棉签擦拭光学基板,直至在白炽灯照射下基板表面无肉眼可见的污染物为止;将擦拭后的基板置于第一槽碱性溶液,分别用不同频率对基板先后进超声清洗;将所得基板放置于第二槽中,用去...
该专利属于同济大学所有,仅供学习研究参考,未经过同济大学授权不得商用。
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