下载一种半导体结构及其制造方法的技术资料

文档序号:8564065

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种半导体结构,包括衬底、半导体鳍片、栅堆叠、源/漏区以及半导体基体,其中:所述半导体鳍片位于所述半导体基体之上,且与所述半导体基体相连接,所述半导体基体的两端与所述衬底相连接;所述栅堆叠覆盖所述半导体鳍片的中心部分、并延伸至所述...
该专利属于中国科学院微电子研究所;北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所;北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。