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本发明提供了一种用于功率半导体装置的边缘终端结构。该功率半导体装置（或功率装置）包括：在其上具有外延层的基板；形成在该外延层中的基本上平行的有源沟槽阵列，其中该有源沟槽包括具有绝缘栅极导电层的晶体管结构；在有源沟槽附近的超结或屏蔽区域；在有...
该专利属于飞兆半导体公司所有，仅供学习研究参考，未经过飞兆半导体公司授权不得商用。

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