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文档序号:8563926

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本发明涉及烧蚀加工方法,其目的在于提供可抑制能量的扩散和激光光束的反射的烧蚀加工方法。本发明的烧蚀加工方法为对被加工物照射激光光束来施以烧蚀加工的烧蚀加工方法,该方法的特征在于,其具备保护膜形成工序与激光加工工序,在保护膜形成工序中,将混入...
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