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本发明涉及异物检查装置及半导体制造装置。根据实施方式，异物检查装置具备：检测头，其具有基底检查部及对基底检查部进行支持的支持部；控制部，其具有基底数据存储部、检查控制部及异物存在判定部。基底数据存储部存储包括表示布线基板或布线基板的最上层的...
该专利属于株式会社东芝所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社东芝授权不得商用。

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