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集成电路结构包括衬底、衬底第一侧上的光敏塑模、形成在塑模中的过孔以及沉积在衬底第一侧上以及过孔中的一致金属层。可以穿过衬底形成与塑模中的过孔对准的通孔,其具有沉积的通孔中的导电衬垫,与一致金属层电接触。集成电路结构还包括:诸如焊球的连接元件...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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集成电路结构包括衬底、衬底第一侧上的光敏塑模、形成在塑模中的过孔以及沉积在衬底第一侧上以及过孔中的一致金属层。可以穿过衬底形成与塑模中的过孔对准的通孔,其具有沉积的通孔中的导电衬垫,与一致金属层电接触。集成电路结构还包括:诸如焊球的连接元件...