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本发明公开了一种检验设备、光刻设备以及器件制造方法。该检验设备包括：照射系统，配置成接收第一束并由其产生第二和第三束，和反射折射物镜，配置成引导第二束从所述晶片反射。检验设备还包括第一传感器，配置成检测由反射的第二束形成的第一图像。检验设备...
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