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真空紫外波段成像系统的平场定标装置及平场定标方法，涉及真空紫外波段成像系统的平场定标装置及方法，解决现有由于材料、工艺及技术的限制，无法实现对真空紫外成像系统进行平场定标的标问题，本发明通过采用真空紫外空心阴极光源及真空紫外单色仪获取目标波...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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