【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种适用于真空紫外波段成像系统的平场定标装置及定标方法。
技术介绍
随着技术发展的日益成熟，成像系统在国民经济、国防、科学研究等各方面有着广泛的应用。由于成像系统的像接收器(如CCD)不同响应单元之间转换效率不一致，以及光学结构渐晕特性等原因的影响，同一强度的目标在成像系统像面上不同位置成像时灰度响应输出并不相同，即存在响应非均匀性。无论是地基还是空间光学成像仪器，在投入使用前都要进行平场定标，并用定标数据校正图像存在的响应非线性。当前，广泛使用积分球光源对成像系统进行平场定标；在积分球上安装照明灯，光经内部漫反射涂料多次漫反射后，由表面开口出射亮度均匀、发散度好的光束。成像系统在积分球开口处对光束离焦成像，得到全视场响应图像，该图像中的不同响应单元的灰度数据的比值即代表像面不同位置的响应相对值，利用该定标得到的响应相对值图像矩阵，可以对成像系统进行平场校正。目前由于材料、工艺及技术的限制，无法采用上述常用积分球光源系统定标方法对真空紫外成像系统进行平场定标，主要存在以下困难一、该波段没有能够使用的涂料作为积分球内壁漫反射涂层；二、该波段光源体积较...
【技术保护点】
真空紫外波段成像系统的平场定标装置，该装置包括真空罐（7）、真空紫外单色仪（2）、四维运动平台（9）、准直反射镜（8）和待定标成像系统（12），所述真空紫外单色仪（2）包括入射狭缝（3）、光栅室（4）、出射狭缝（5）和针孔（6）；其特征是，所述四维运动平台（9）、准直反射镜（8）和待定标成像系统（12）设置在真空罐（7）内，所述待定标成像系统（12）固定在四维运动平台（9）上，真空紫外空心阴极光源（1）光束经真空紫外单色仪（2）的入射狭缝（3）进入光栅室（4）分光，出射狭缝（5）处设置针孔（6），分光后的光束依次经出射狭缝（5）和针孔（6）后经准直反射镜（8）变为平行光束；...
【技术特征摘要】
1.真空紫外波段成像系统的平场定标装置，该装置包括真空罐(7)、真空紫外单色仪(2)、四维运动平台(9)、准直反射镜(8)和待定标成像系统(12)，所述真空紫外单色仪(2)包括入射狭缝(3)、光栅室(4)、出射狭缝(5)和针孔(6);其特征是，所述四维运动平台(9)、准直反射镜(8)和待定标成像系统(12)设置在真空罐(7)内，所述待定标成像系统(12)固定在四维运动平台(9)上，真空紫外空心阴极光源(I)光束经真空紫外单色仪(2)的入射狭缝(3)进入光栅室(4)分光，出射狭缝(5)处设置针孔(6)，分光后的光束依次经出射狭缝(5)和针孔(6)后经准直反射镜(8)变为平行光束；所述平行光束在待定标成像系统(12)上成像。2.根据权利要求1所述的真空紫外波段成像系统的平场定标装置，其特征在于，还包括工控机(13)，所述四维运动平台(9)在方位和俯仰方向由工控机(13)进行驱动。3.根据权利要求1所述的真空紫外波段成像系统的平场定标装置，其特征在于，所述待定标成像系统(12)的入瞳中心与四维运动平台(9)的方位转动轴(10)和俯仰转动轴(11)的转动中心重合。4.基于权利要求1所述的真空紫外波段成像系统的平场定标装置的定标方法，其特征是，该方法由以下步骤实现 步骤一、调整真空紫外单色仪(2)扫描波长至成像系统的工作波段；真空紫外空心阴极光源(I)的光束由入射狭缝(3)进入光栅室(4)分光后，经出射狭缝(5)出...
【专利技术属性】
技术研发人员：何玲平，陈波，王晓光，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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