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一种基于ＣＯ２激光器的三维微管道加工设备，其特征在于：它包括激光汇聚系统（６）、三维精密移动平台（５）和计算机控制系统（２）三大部分；计算机控制系统（２）控制精密移动平台（５）和激光汇聚系统（６）的协调动作，实现三维微米级管道的刻蚀。...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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