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本发明公开了一种深紫外铝光栅偏振器，包括铝光栅和基底介质，铝光栅的周期为50nm-100nm，厚度为50nm-200nm，占空比（光栅栅线宽度/光栅周期）为0.3-0.7；基底介质的材料是SiO2；基底介质紧密的包裹铝光栅。本发明的光栅偏振...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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