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本发明着眼于由聚光物镜聚光的激光光束的焦点深度越长、加工 效果越大的情况，提供一种生产性高的激光加工装置。这种激光加工 装置具备保持被加工物的卡盘台和对保持在卡盘台上的被加工物照射 脉冲激光光束的激光光束照射机构，激光光束照射机构具备激光光...
该专利属于株式会社迪斯科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪斯科授权不得商用。

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