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本发明设计了一套高速高精度的超声显微扫查装置，适用于电子封装、复合材料及医学应用的超声检测领域。本装置的扫查定位精度为0.1μm，采用中心频率为50MHz以上的高频聚焦换能器，采样频率为4GHz的高频数据采集卡，以及通频带为1-500MHz...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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