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中国科学院微电子研究所
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一种半导体器件制造技术
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下载一种半导体器件的技术资料
文档序号:8514999
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提供了一种半导体器件。该半导体器件包括:半导体衬底(1001);在半导体衬底上的栅极、栅极两侧的侧墙、和源区/漏区;位于源区/漏区上的下接触部,下接触部与侧墙的外壁近邻,且底部覆盖源区/漏区的至少一部分,同一晶体管的源区/漏区之间通过层间介...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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