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高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法及专用工具技术
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文档序号:849854
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一种高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法及专用工具,属高深宽比金属微结构制造工艺方法及装置技术领域。该方法是利用金属网板作为专用工具,在工控机的控制下,使专用工具和工件阳极做相向运动进行电解加工,其特征在于:所述的作为专用工具的金属网板...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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