高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法及专用工具技术

一种高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法及专用工具，属高深宽比金属微结构制造工艺方法及装置技术领域。该方法是利用金属网板作为专用工具，在工控机的控制下，使专用工具和工件阳极做相向运动进行电解加工，其特征在于：所述的作为专用工具的金属网板，其群孔的侧壁和网板背面均沉积有绝缘层，以屏蔽金属网板的群孔侧壁、背面与新生成群柱表面的电场，保护新生成的群柱结构不被蚀除。利用本发明专利技术，可以高效、低成本的制造出深宽比不受限制（理论上）的微细金属群柱结构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法及专用工具，属高深 宽比金属微结构制造工艺方法及装置

技术介绍
微细阵列群孔作为一种典型的微细结构，在航空航天、精密仪器、化纤等领 域有着广泛的应用，如高速打印机喷嘴板、光纤连接器、化纤喷丝板、微过滤网 以及电子显微镜光栅等。微细电加工相对于常规钻削加工具有无机械切削力作 用，加工精度和加工效率高等优点，因此其在微细群孔结构的加工方面具有广泛 的应用前景。其中，工具电极的制作是微细电加工中一个重要的环节。目前，微 细电极的制作方法主要有电化学腐蚀法、线电极电火花磨削(WEDG)等，但上述 方法往往只能获得单个或数个微细电极，致使微细电加工的加工效率不高。目前， 国内外已开始研究使用阵列微细柱状电极来进行微细电加工，以显著提高加工效 率。制作微细金属群柱结构的方法主要有① LIGA (1 i thographie, galvanoformung und abformung)技术，虽然采用 LIGA技术可以获得厚度达1 ~ 2mm、深宽比高达100以上且侧壁陡直的微结构， 但是由于LIGA技术需要昂贵的同步辐射光源，成本高、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高深宽比微细金属群柱结构的电化学加工方法，利用金属网板作为专用工具，通过工控机的控制，使专用工具和工件阳极做相向运动进行电解加工，其特征在于：所述的作为专用工具的金属网板，其群孔侧壁和网板背面均沉积有绝缘层；利用该绝缘层屏蔽金属网板的群孔侧壁、背面与新生成群柱之间的电场，保护新生成群柱结构不被蚀除。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡洋洋，朱荻，曲宁松，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]