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用于在处理晶片时搬运晶片的搬运设备具有如下特征：带有用于容纳晶片的平面容纳侧的载体；在容纳侧上相对于容纳侧突起的、尤其格状的格栅结构；将格栅结构相对于载体密封覆盖的、柔韧的盖，用于将晶片固定在载体；其中通过盖和载体形成边界的格栅空间能够被施...
该专利属于EV集团有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过EV集团有限责任公司授权不得商用。

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