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描述了确定结构的光学计量的材料光学特性的方法。一种方法包括基于两个或更多个方位角和基于一个或多个入射角来模拟光栅结构的衍射级的集合。然后基于衍射级的集合提供模拟的光谱。另一种方法包括基于两个或更多个入射角来模拟光栅结构的衍射级的集合。然后基...该专利属于克拉-坦科股份有限公司;东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过克拉-坦科股份有限公司;东京毅力科创株式会社授权不得商用。