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一种分离发光二极管衬底的方法技术
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文档序号:8490956
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本发明公开了一种分离发光二极管衬底的方法,包括步骤:提供一生长衬底;在所述生长衬底上形成第一半导体层,其呈倒置金字塔锥体阵列分布,各个单元相互分离;在所述第一半导体层之上形成发光外延层;湿法蚀刻所述呈倒置金字塔锥体阵列分布的第一半导体层,从...
该专利属于安徽三安光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽三安光电有限公司授权不得商用。
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