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侧向双极晶体管及其制备方法技术
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文档序号:8490858
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本发明公开一种侧向双极晶体管及其制备方法,为解决现有器件中收集区面积过大的缺陷而设计。本发明侧向双极晶体管包括发射区、本征基区、收集区、发射极介质层、外基区、基区介质层和衬底介质层。衬底介质层环绕发射区并延伸进入发射区。本征基区位于基区介质...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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