下载CMOS图像传感器的形成方法的技术资料

文档序号:8490833

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本发明公开了一种CMOS图像传感器的形成方法,在本发明的一个技术方案中,利用第一次光刻工艺形成第一图形化光刻胶层,第一图形化光刻胶层用于定义第一浅沟槽的位置,去除第一图形化光刻胶层之后,利用第二次光刻工艺形成第二图形化光刻胶层,第二图形化光...
该专利属于上海宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

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