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本发明提供的一种表征通孔刻蚀后关键尺寸的方法，包括在双大马士革工艺的光刻预定区域的通孔图形时，在非预定区域的光罩上形成通孔的测量图形，所述测量图形的大小与所述定义通孔图形的大小一致；进行通孔刻蚀工艺，在预定区域和非预定区域刻蚀出通孔；在刻蚀...
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