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一种电子可编程熔丝器件制作方法，包括：将器件区域分为非电子可编程熔丝区域和电子可编程熔丝区域；在所述电子可编程熔丝区域进行多次刻蚀，以增加其边缘粗糙度；对所述非电子可编程熔丝区域进行光刻、显影和刻蚀。本发明通过多次刻蚀，以及加大主刻蚀的物理...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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