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本发明涉及一种能实现双向流动的超声流微泵，它由多个声流微泵单元串接而成，每个声流微泵单元的流体腔包括入口腔、出口腔、声流腔和回流腔四部分形成H形腔体结构，其中入口腔、回流腔在水平方向相接，相接处垂直连接声流腔，声流腔顶端垂直连接出口腔，每个...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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