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一种能实现双向流动的超声流微泵制造技术

技术编号:8486732 阅读:211 留言:0更新日期:2013-03-28 05:43
本发明专利技术涉及一种能实现双向流动的超声流微泵,它由多个声流微泵单元串接而成,每个声流微泵单元的流体腔包括入口腔、出口腔、声流腔和回流腔四部分形成H形腔体结构,其中入口腔、回流腔在水平方向相接,相接处垂直连接声流腔,声流腔顶端垂直连接出口腔,每个声流微泵单元的声流腔正对一个压电片,压电片置于正对声流腔的管道底侧位置,压电片连接压电驱动器,多个声流微泵单元的流体腔相连通。本发明专利技术微泵不需要压力腔,无活动部件,可靠性高;易于制造;对悬浮粒子损伤小;工作电压低;发热低;对所传输的液体/气体类型没有限制,可用于传输包含DNA及其它生物试样的液体等。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种能实现双向流动的超声流微泵,其特征是,它由多个声流微泵单元串接而成,每个声流微泵单元的流体腔包括入口腔、出口腔、声流腔和回流腔四部分形成H形腔体结构,其中入口腔、回流腔在水平方向相接,相接处垂直连接声流腔,声流腔顶端垂直连接出口腔,每个声流微泵单元的声流腔正对一个压电片,压电片置于正对声流腔的管道底侧位置,压电片连接压电驱动器,多个声流微泵单元的流体腔相连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:魏守水魏长智
申请(专利权)人:山东大学
类型:发明
国别省市:

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