【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种能实现双向流动的超声流微泵,其特征是,它由多个声流微泵单元串接而成,每个声流微泵单元的流体腔包括入口腔、出口腔、声流腔和回流腔四部分形成H形腔体结构,其中入口腔、回流腔在水平方向相接,相接处垂直连接声流腔,声流腔顶端垂直连接出口腔,每个声流微泵单元的声流腔正对一个压电片,压电片置于正对声流腔的管道底侧位置,压电片连接压电驱动器,多个声流微泵单元的流体腔相连通。
【技术特征摘要】
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