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制作柔性金字塔阵列GaN基半导体发光二极管的方法技术
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文档序号:8454171
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一种制作柔性金字塔阵列GaN基半导体发光二极管的方法,包括:步选择一外延结构,该外延结构包括蓝宝石衬底,及在蓝宝石衬底上依次生长的非故意掺杂氮化镓层、n型GaN层、量子阱层和p型GaN层;在p型GaN层上制备金属层;在金属层上转移一衬底;将...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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