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半导体结构及其制造方法技术
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文档序号:8454077
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本发明涉及半导体结构及其制造方法。一种半导体结构包括:半导体基底;依次形成在半导体基底上的第一绝缘材料层、第一导电材料层、第二绝缘材料层、第二导电材料层、绝缘埋层;结合在绝缘埋层上的半导体层;形成在半导体层上的晶体管,晶体管的沟道区均形成于...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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