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本发明公开了一种批处理式热处理装置的加热器，适用于可同时对多个基板进行热处理的批处理式热处理装置，其特征在于，所述加热器包括：第一管；第二管，与所述第一管具有规定间隔且围绕所述第一管；以及发热体，插入到所述第一管的内部，并且，使冷却用气体通...
该专利属于泰拉半导体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过泰拉半导体株式会社授权不得商用。

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