下载石墨烯量子电容测试器件及其制备方法的技术资料

文档序号:8452059

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本发明涉及一种石墨烯量子电容测试器件及其制备方法。该方法包括:在衬底上形成栅电极引线图形、源电极引线图形和漏电极引线图形;在衬底上形成栅电极图形、源电极图形和漏电极图形,分别与该栅电极引线图形、源电极引线图形和漏电极引线图形接触;在栅电极图...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。

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