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本发明涉及一种激光薄膜用光学基板清洗后表面检测方法，属于光学技术领域。所述检测流程工艺包括以下步骤：运用5?m、10?m尺寸的人造氧化硅小球定标白光表面检测灯的可见度，对基板清洗后的残留颗粒运用5?m～50?m尺寸的氧化硅小球进行尺度对比，...
该专利属于同济大学所有，仅供学习研究参考，未经过同济大学授权不得商用。

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