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本发明涉及一种非均匀折射率薄膜光学常数的测量方法，包括以下步骤：对薄膜进行透过率和反射率光谱测量，得到光谱测量数据；对薄膜进行变角度的椭圆偏振测量，得到椭偏参数；将光谱数据和椭偏参数拟合，配合相应的色散关系，使用非均匀模型求解薄膜的光学常数...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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