温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于真空镀膜技术领域，涉及一种用于真空热蒸发沉积金属铝薄膜蒸发舟结构的改进，其包括：上端敞口的圆柱形蒸发坩埚；设置于所述圆柱形蒸发坩埚上端外围的圆形缓冲平台；设置于所述圆形缓冲平台外围上方的圆柱形防溢出阻挡层。与传统铝蒸发舟相比，本发...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。