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一种基底上ITO薄膜图案化方法技术
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文档序号:8426078
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本发明公开了一种基底上ITO薄膜图案化方法,包括以下步骤:(1)在基底上沉积好一层ITO薄膜;(2)将贴膜紧密地贴合于步骤(1)的ITO薄膜之上,并且去除贴膜与ITO薄膜之间的气泡,其中贴膜为被图案化的;(3)通过湿法刻蚀去除步骤(2)中没...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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