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本发明提供磨粒埋入装置、抛光装置和抛光方法，既抑制磨粒的埋入不均又高效地将磨粒埋入研磨模座。在磨粒埋入装置中，一边将含有磨粒的料浆供给到研磨模座的表面一边用按压构件隔着料浆按压研磨模座，并且使按压构件与研磨模座滑动而将料浆含有的磨粒埋入研磨...
该专利属于株式会社迪思科所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社迪思科授权不得商用。

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